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真空泵機(jī)組的最頂圖片
 
真空泵機(jī)組
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真空泵機(jī)組 真空泵機(jī)組
 
正壓漏孔校準(zhǔn)安裝原理簡圖與校準(zhǔn)步驟

正壓漏孔校準(zhǔn)安裝原理簡圖與校準(zhǔn)步驟
近年來,正壓漏孔越來越多地利用在航天畛域,尤其是在衛(wèi)星,運(yùn)載導(dǎo)彈,飛船等重型出品的通體檢漏中。對(duì)正壓漏孔特點(diǎn)和性能的鉆研,關(guān)于普及檢漏的正確性和保障航天出品的牢靠性都有不足道意思。正壓漏孔是在給定熱度和出口壓力的條件下,向大氣端提供已知漏率的安裝。正常狀況下,在23℃熱度條件下,出口為2個(gè)規(guī)范大氣壓,入口為1個(gè)規(guī)范大氣壓,以那種一定氣體為示透氣體對(duì)正壓漏孔繼續(xù)校準(zhǔn),給出其漏率值。然而,在理論的檢漏作業(yè)中,正壓漏孔的入口壓力易于保障,但出口壓力往往會(huì)有較大的變遷和差距。在相反的出口壓力條件下,規(guī)范漏孔的漏率值也不相反,須要繼續(xù)修改。因而,務(wù)必鉆研在定然壓力規(guī)模內(nèi)出口壓力變遷或者入口壓力變遷與正壓漏孔漏率的關(guān)系,可在壓力條件變遷的狀況下,仍能失去較為牢靠的檢漏后果。
罕用的正壓漏孔有非金屬毛細(xì)血管型和非金屬壓扁型2種。關(guān)于非金屬毛細(xì)血管型正壓漏孔,用自帶氣瓶來提供出口壓力,減小了壓力變遷可能帶來的莫須有;而關(guān)于非金屬壓扁型,歷次接入的出口壓力都可能相反,因此,選用這種正壓漏孔作為鉆研目標(biāo)。①入口壓力(100kPa)一成不變的狀況下,出口壓力從150kPa回升到1000kPa;②出口壓力(100kPa)一成不變的狀況下,入口壓力從100kPa上升到1kPa,在這2種狀況下,用N2和He2種示透氣體對(duì)同1只非金屬壓扁型正壓漏孔繼續(xù)了校準(zhǔn)。依據(jù)校準(zhǔn)后果,給出了相反壓力條件下漏率的變遷曲線,使用黏滯流2分子流實(shí)踐對(duì)校準(zhǔn)后果繼續(xù)了修改。
正壓漏孔校準(zhǔn)安裝原理
采納國防科工委真空計(jì)量一級(jí)站建起的“正壓漏孔規(guī)范安裝”對(duì)正壓漏孔繼續(xù)了校準(zhǔn),校準(zhǔn)規(guī)模為1×10-1~5×10-8Pa·m3/s,由定容法校準(zhǔn)零碎和定量氣體靜態(tài)比擬法校準(zhǔn)零碎兩全體組成,定容法的校準(zhǔn)規(guī)模為1×10-1~5×10-6Pa·m3/s,測量不確定度為2.6%~9.1%;定量氣體靜態(tài)比擬法的校準(zhǔn)規(guī)模為2×10-5~5×10-8Pa·m3/s,測量不確定度小于14.2%。圖1為正壓漏孔校準(zhǔn)安裝原理簡圖。
圖1 正壓漏孔校準(zhǔn)安裝原理簡圖
1、2.氣瓶;3、4、7、11、15、19、21.截止閥;5.待校漏孔;6、8、13.相對(duì)式庫容規(guī);9.三通閥;10.規(guī)范體積;12.定容室É;14.差壓式庫容規(guī);16.針閥;17.定容室Ê;18、28.插板閥;20.小孔;22、26.冷負(fù)極規(guī);23.四極質(zhì)譜計(jì);24.質(zhì)譜綜合室;25.限流孔;27.抽氣室;29.抽氣室;29.濺射離子泵;30、31、33.分子泵;32、34.電泵。
正壓漏孔校準(zhǔn)步驟
選用的正壓漏孔在1×10-1~5×10-6Pa·m3/s漏率規(guī)模內(nèi),因此,在正壓漏孔校準(zhǔn)安裝中采納定容法繼續(xù)校準(zhǔn)。校準(zhǔn)漏孔時(shí),把漏孔接入5地位,由氣瓶1提供出口壓力,在定容室12中充入入口壓力,結(jié)束校準(zhǔn),氣瓶1中的示透氣體經(jīng)過正壓漏孔被引入到定容室12中,導(dǎo)致定容室壓力變遷,在定容室體積一成不變的條件下,經(jīng)過測量定容室中的壓力變遷值和所用的工夫,可失去正壓漏孔的漏率
式中 Q為正壓漏孔的漏率,Pa·m3/s;V為定容室的體積,m3;$p為定容室中的壓力變遷值,Pa;$t為定容室中的壓力變遷$p所用的工夫,s。調(diào)節(jié)氣瓶1和定容室12中的氣體壓力,改觀出口壓力和入口壓力,在相反條件下對(duì)正壓漏孔繼續(xù)校準(zhǔn),可失去在相反壓力條件下正壓漏孔的漏率值。
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